건식식각1 반도체 기술 변화 짚어보기 - 6) 식각공정: 쿼츠, SiC, 코팅/세정, Si/SiGe 선택적 식각액 수요 증가 식각 장비 시장은 진입 장벽이 높아 국산화율이 낮으나 소재와 부품의 경우 상당 부분 국산화가 진행됐다. 또한 최근 반도체 회로 선폭이 좁아지고 적층수가 증가하면서 식각에 사용되는 플라즈마 노출도와 농도가 높아지고 있는 추세다. 플라즈마 노출도, 농도 증가에 따른 쿼츠 및 SiC 부품, 원가 절감 위한 코팅 및 세정, Si/SiGe 층 선택적 식각을 위한 식각액 수요 증가할 전망하는 바 국내 식각 소재와 부품 업체의 수혜가 기대된다. (1) 식각 장비 트랜드 상위 3 개 업체 점유율 91% 2021 년 식각 장비 시장 규모는 약 200 억달러이며 Lam Research, TEL, Applied Materials 가 91%의 점유율을 차지하고 있다. 국내 업체로는 삼성전자의 비상장 자회사인 SEMES 가.. 2024. 9. 17. 이전 1 다음
